SEMI驗證
半導體設備驗證是一個關鍵的步驟,特別在高科技產業中。如果您需要引進製程設備,設備供應商必須提供相關的設備安全和測試檢驗報告,這些檢驗的標準通常基於由SEMI國際半導體設備組織所制定的法規。
=> 目前主要引用標準如下:
SEMI S2 半導體設備安全設計
SEMI S3 液體加熱安全設計
SEMI S1 警告標示設計
SEMI S8 人因工程設計
SEMI S10 風險評估分析
SEMI S6 通風排氣設計與危害性化學品洩漏測試
SEMI S13 安全手冊暨文件
SEMI S14 化學品危害風險分析與評估
SEMI S17 無人搬運設備安全設計
SEMI S22 電氣設計與電氣測試
SEMI S26 FPD 設備安全設計
SEMI S28 機械手臂與load/unload 安全設計
SEMI F47 壓降測試